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? ? ? ?2022年9月27日，2022年度上海市質量協(xié)會質量技術獎獲獎名單公布。上海計量院 “集成電路材料關鍵質量參數(shù)的檢測體系研究與應用”項目榮獲綜合類質量創(chuàng)新成果優(yōu)秀獎。

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　　上海市質量協(xié)會質量技術獎圍繞重點產(chǎn)業(yè)、重點領域質量提升工程以及質量技術基礎建設等方向，獎勵本市企事業(yè)單位在質量技術創(chuàng)新領域做出突出貢獻的項目成果和個人。

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　　“集成電路材料關鍵質量參數(shù)的檢測體系研究與應用”項目通過研究國際先進材料的質量體系、剖析先進工藝流程參數(shù)、調研國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)使用材料的質量要求，進而確定了我國集成電路材料的關鍵技術指標。結合高純試劑的質量控制方案，通過開發(fā)采樣和前處理方法，優(yōu)化實驗環(huán)境質量控制的方案，細化檢測步驟，優(yōu)化設備參數(shù)等，形成了以痕量陰陽離子、顆粒為關鍵參數(shù)的集成電路材料質量體系。開發(fā)了包含濕電子化學品、光刻膠、拋光液中關鍵技術指標，如：痕量陽離子、陰離子、顆粒的檢測方法，突破了痕量檢測技術的瓶頸，滿足10nm-14nm工藝制程的質量要求。

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　　集成電路材料是集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎，也是集成電路產(chǎn)業(yè)有序發(fā)展的保障。該項目突破了產(chǎn)業(yè)內(nèi)多個“卡脖子”的關鍵難題，解決了材料上下游關鍵參數(shù)不明確、質量要求不一致的問題，打通了產(chǎn)業(yè)上下游的質量體系，打破了國外對材料驗收的技術壁壘，能夠較好地服務于集成電路材料國產(chǎn)化驗證項目和重要國產(chǎn)材料替代項目，助力國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的高質量發(fā)展。

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《轉載上海計量院》

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